La unidad de limpieza de aire incluye: Mini unidad de limpieza de aire (MAC) es un tipo de producto de purificación de aire que mejora la limpieza parcial; La unidad de filtro de ventilador (en lo sucesivo, FFU) es un equipo de limpieza de aire con ventilador incorporado; La unidad de filtro de aire sin ventilador de la serie LC y KGF es un tipo de unidad terminal de filtro de alta eficiencia en la sala limpia.